ESD in Reinräumen

Reinräume (Cleanrooms) zählen zu den anspruchsvollsten Umgebungen für die Kontrolle elektrostatischer Ladung. Neben Partikelfreiheit muss auch ESD streng beherrscht werden.

Wo werden Reinräume eingesetzt?

In der Halbleiter- und Displayfertigung, der Medizintechnik, der Optik und überall, wo höchste Reinheit nötig ist.

Warum ist ESD im Reinraum kritisch?

Eine Entladung zieht zudem Partikel an und kann hochempfindliche Strukturen sofort zerstören – siehe was ist ESD.

Spezielle ESD-Ausstattung

Reinraumtaugliche ESD-Bekleidung, Handschuhe, Schuhe und ableitende Böden in geeigneter Reinraumklasse.

Luftionisation

Ionisatoren sind unverzichtbar, weil im Reinraum viele isolierende Kunststoffe verwendet werden.

Umgebungskontrolle

Kontrollierte Luftfeuchte und regelmäßige Messungen mit Messgeräten halten das ESD-Risiko niedrig.

Normen

Neben der ČSN EN 61340-5-1 gelten Reinraumnormen (ISO 14644) und branchenspezifische Vorgaben.

Häufige Fehler

Ungeeignete Materialien, fehlende Ionisation und unzureichende Kontrolle.

Fazit

Im Reinraum verbinden sich Reinheit und ESD-Schutz zu einem System. Weitere Anleitungen im ESD-Ratgeber.